精密機械（xiè）是指通過高精度設（shè）計、製造和裝配，能夠實現微米級甚至納米級精度操作、測（cè）量或控製的機（jī）械裝置與係統，廣泛應用於（yú）航空航天、醫療器械、電子製造、精密儀器等對精（jīng）度和可（kě）靠性要求極高的領域。它融合了機械設計、材料科學、精密測量、自動控製等多學科技術，是（shì）高端製造業的核心基礎。
半導體（tǐ）製造（zào）
光刻機：核心精密機械係（xì）統（tǒng），需將光刻圖案以納米級精度投影到晶圓上，其工作台定位精度達 ±2 納米，是芯片製程突破的關鍵。
晶圓劃片機、鍵合機：實現微米級切割和芯片封裝，確保半導體器（qì）件（jiàn）的電學性能（néng）。
航空航天與國防
慣性導航係統：陀螺（luó）儀、加（jiā）速度計等精密機械元（yuán）件，需在極端環境下保持 0.001°/h 的漂移精度，為航天器、導彈提供導（dǎo）航基準。
衛星天線調整機構：實現（xiàn）天線指向精度 ±0.1°，確保與地麵通信（xìn）的穩（wěn）定性。
醫療器械
手術機（jī）器人（如達芬奇機器人）：機械臂末（mò）端操作精度達 0.1 毫米，可完成（chéng）微創外科（kē）手術中的精細動作（如縫合血管）。
精密輸液（yè）泵：流量控製（zhì）精度 ±1%，確保（bǎo）藥物劑量的精準輸送。
精密儀器
電子顯微鏡：通過精密機械結構控製電子束聚（jù）焦和樣（yàng）品移動，分辨率達 0.1 納米，用於材料（liào）微觀結構觀（guān）察。
激光幹涉儀：作為（wéi）長度基準儀（yí）器，測量精度可達 0.01 微米，用於校準其他精密設備。
高端裝（zhuāng）備（bèi）
精密數控機床：五軸加工中心的定位精度達 ±5 微米，可加工航空發動機葉片等複雜曲麵零件（jiàn）。
光（guāng）學儀器：如（rú）天文望遠鏡的鏡麵調整機構，定位（wèi）精度達微米級（jí），確保星光（guāng）聚焦的清晰度。
